瑞士(shi)萬通離(li)子色(se)譜(pu)應用(yong)壹芯(xin)中有(you)我--電子級HF
中美貿(mao)易戰的(de)大背(bei)景(jing)下還(hai)存(cun)在過壹場(chang)日(ri)韓貿(mao)易戰,大(da)家(jia)應該還(hai)都(dou)有(you)印象,日(ri)本對(dui)韓禁(jin)售電子級HF、氟聚酰亞(ya)胺和(he)光刻(ke)膠(jiao),韓國(guo)哀嚎壹片。為什(shen)麽這三(san)類(lei)產(chan)品對於韓國(guo)這麽重要呢? 別的(de)且不說(shuo),電(dian)子級HF屬(shu)壟斷(duan)產(chan)品,其(qi)純(chun)度(du)和潔(jie)凈度(du)對集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)的(de)成品(pin)率(lv)、電性(xing)能(neng)及可靠(kao)性(xing)影(ying)響(xiang)很(hen)大(da),主要用(yong)於半(ban)導(dao)體(ti)、太陽能(neng)和(he)液(ye)晶顯(xian)示器(qi)等(deng)領(ling)域(yu),是(shi)這(zhe)些行業中關鍵的(de)輔(fu)助材(cai)料之(zhi)壹。其(qi)中非(fei)常大(da)應用(yong)市(shi)場(chang)是(shi)半(ban)導(dao)體(ti)產(chan)業,約(yue)占(zhan)電(dian)子級HF總(zong)消耗量(liang)47.3%;其(qi)次(ci)是(shi)太(tai)陽能(neng)產(chan)能(neng),比(bi)重22.1%;液(ye)晶顯(xian)示器(qi)產(chan)業則(ze)占(zhan)18.3%。半(ban)導(dao)體(ti)和液(ye)晶顯(xian)示都(dou)是(shi)韓國(guo)的(de)支柱(zhu)產(chan)業,對(dui)韓國(guo)的(de)重要性不(bu)言(yan)而喻(yu),因此日本(ben)這壹招(zhao)可謂(wei)打(da)在(zai)韓國(guo)的(de)命脈(mai)上。因此韓國(guo)急(ji)忙(mang)轉向中國(guo),韓國(guo)三星、LG、SK海力士(shi)等(deng)企(qi)業開(kai)始(shi)頻頻與(yu)中國(guo)相(xiang)關企(qi)業聯(lian)系(xi),據說(shuo)也簽訂了壹些(xie)購(gou)買協(xie)議(yi)。 目前(qian)日韓貿(mao)易戰已經告壹段落(luo),中美貿(mao)易戰卻是(shi)愈(yu)演愈(yu)烈,中興被(bei)處(chu)罰,華(hua)為(wei)被全面封鎖,中國(guo)人民感覺到(dao)了芯(xin)片產(chan)業的(de)重要性,電(dian)子級HF做為半(ban)導(dao)體(ti)制作(zuo)過程(cheng)中應用(yong)非(fei)常多(duo)的(de)超凈高(gao)純(chun)試劑之(zhi)壹,質(zhi)量(liang)必須得到保(bao)證(zheng)。 目前國(guo)內現(xian)行關於HF的(de)標準(zhun)只(zhi)有(you)GB/T 31369-2015《太陽電池(chi)用(yong)電(dian)子級HF》,不過團體標準(zhun)《電子工(gong)業用(yong)高(gao)HF》和(he)《電(dian)子工(gong)業用(yong)高(gao)HF中痕量(liang)陰(yin)離(li)子含量(liang)的(de)測定(ding) 離(li)子色(se)譜(pu)法(fa)》已經完成了意(yi)見征集(ji),以上標準(zhun)中均采用(yong)離(li)子色(se)譜(pu)來(lai)檢(jian)測(ce)HF中的(de)痕量(liang)陰(yin)離(li)子,離子色(se)譜(pu)在(zai)保證(zheng)電(dian)子級HF質量(liang)方(fang)面具有(you)*的(de)作用(yong)。 瑞(rui)士(shi)萬通離(li)子色(se)譜(pu)堅(jian)實耐(nai)用(yong),整機由瑞(rui)士(shi)進口,取得“Swiss made”標識的(de)使用(yong)資(zi)格(至(zhi)少(shao)60%成(cheng)本(ben)在(zai)瑞(rui)士(shi),賦予產(chan)品基本特(te)征(zheng)的(de)階段也必須在(zai)瑞士(shi)進行),十分(fen)適合HF中陰離(li)子的(de)檢(jian)測(ce)。
離(li)子色(se)譜(pu)法(fa)直(zhi)接(jie)分(fen)析HF中的(de)痕量(liang)陰(yin)離(li)子難度(du)較大(da),高(gao)倍(bei)稀(xi)釋雖然(ran)能(neng)降(jiang)低(di)高(gao)含(han)量(liang)的(de)F-的(de)幹擾(rao),但大(da)大降(jiang)低(di)了待(dai)測(ce)陰(yin)離子的(de)靈(ling)敏度(du)。二(er)維離(li)子色(se)譜(pu)法(fa)為此(ci)類(lei)樣品(pin)提供了解(jie)決方(fang)法(fa)。HF其(qi)實(shi)為(wei)壹種(zhong)弱(ruo)酸,它可以在(zai)離(li)子排斥柱上保留(liu),因此可利(li)用(yong)這(zhe)壹特(te)性(xing),樣品在離(li)子排斥柱上預(yu)分(fen)離,強酸如(ru)HCl、HNO3、H2SO4等(deng)在(zai)排(pai)斥(chi)柱上不保(bao)留(liu),通過閥(fa)切換技術,進(jin)入第(di)二(er)套(tao)陰(yin)離子分(fen)析系(xi)統分(fen)析。
使用(yong)Metrosep Organic Acid做(zuo)為(wei)離子排斥分(fen)離柱,淋洗液(ye)為(wei)超純(chun)水(shui),進樣(yang)體(ti)積250μL,流速0.5mL/min,進(jin)行預(yu)分(fen)離;Metrosep A Supp 10-250做為(wei)陰(yin)離子分(fen)離柱,淋洗液(ye): 5.0mM Na2CO3+5.0mM NaHCO3 ; 流(liu)速(su)1.0mL/min,柱溫50℃,進行陰(yin)離(li)子分(fen)析。
除電子級HF外(wai),其(qi)它(ta)高(gao)純(chun)試劑如(ru)電子級硝(xiao)酸、電子級磷(lin)酸、電子級過氧(yang)化氫(qing)等(deng)原料中痕量(liang)陰(yin)離(li)子的(de)檢(jian)測(ce),瑞(rui)士(shi)萬通均可提供完(wan)善的(de)解決(jue)方(fang)案(an)。 |





